[르포]"HBM 패키징 자신" 美램리서치 첨단 식각장비 직접 보니

[용인·동탄(경기)=이데일리 최영지 기자] “웨이퍼에 반도체 회로를 만드는 식각 장비로는 램리서치가 단연 글로벌 1위라고 말할 수 있습니다. 고대역폭메모리(HBM) 수요가 늘어날수록 어드밴스드 패키징 시장경쟁력이 있는 자사에 유리하며 용인 캠퍼스를 토대로 한국에 연구·개발(R&D) 기지를 구축하고 있습니다.”

경기 용인 소재 램리서치 코리아테크놀로지 센터 내 엔지니어들. (사진=램리서치코리아)

“韓, 절대적으로 중요…삼성·SK ‘밀착마크’ 위해 용인에 집결”

28일 경기 용인 램리서치 코리아테크놀로지 센터 등 캠퍼스 투어를 진행한 이상원 램리서치코리아 대표는 이같이 회사의 미래 비전을 밝혔다. 그는 “램리서치는 K-반도체 벨트인 용인 반도체 클러스터에 첫 입주한 반도체회사이며 R&D와 제조 등 전체 사업부문을 이곳에 갖추게 됐다”고 밝혔다. 이어 “한국은 절대적으로 전략적으로 중요한 시장인 만큼 상당한 의미를 두고 있기에 대규모 투자를 지속하고 있다”며 “고객들에 특화한 장비 솔루션을 같이 하는 것이 우리 전략”이라고 했다.

내년 반도체 업황을 묻는 질문에는 “AI 수요가 늘며 HBM 등 D램은 내년에 좋은 그림이 그려지며 낸드플래시 회복까진 시간이 좀 더 걸릴 것으로 본다”며 “HBM 시장이 커질수록 어드밴스드 패키징 시장을 갖고 있는 우리로서는 좋다”고도 했다.

경기 용인 소재 램리서치 코리아 테크놀로지 센터 전경. (사진=램리서치코리아)

현재 용인캠퍼스 내 운영 중인 코리아테크놀로지 센터 이외에도 사무동이 건설 중이며 내년 7월 완공 예정이다. 사무동이 완공되면 동탄에 위치한 테크니컬 트레이닝 센터와 판교에 위치한 한국 본사가 모두 용인 캠퍼스로 이전한다. 미국에 본사를 둔 램리서치가 이처럼 한국 시장에 집중하는 배경으로 삼성전자(005930)와 SK하이닉스(000660) 등 국내 메모리반도체 기업과의 협업 강화가 꼽힌다. 오는 2024년 이후 반도체 호황이 기대되는 만큼 HBM 등 최첨단 메모리반도체 제조를 위한 협력이 확대될 것으로 보인다.

이상원 램리서치코리아 대표이사. (사진=램리서치코리아)

램리서치코리아 용인캠퍼스 내 사무동이 건설 중인 모습으로 내년 준공이 예정돼 있다.

첨단 식각·증착 장비 한눈에…고객사 전용 장비는 ‘분리벽’ 안에

용인 램리서치 코리아테크놀로지 센터는 차세대 반도체 솔루션 개발을 목표로하는 글로벌 랩(lab)이다. 장비 테스트를 통해 고객사에 빠르고 효율적인 장비 공급을 하기 위한 곳으로 램리서치가 주력으로 하는 키요(Kiyo)와 센스아이(i) 등 최첨단 식각·증착 장비 12대와 다수 계측장비가 가동 중이었다. 장비마다 가격차이가 있지만 대략 한대 가격은 수백억원 상당으로 전해진다.

장비를 둘러보기 위해선 방진모, 방진마스크, 방진복, 방진화를 착용한 후 범프캡과 장갑까지 착용해야 했다. 클린룸 안에선 먼지 한 톨도 용납할 수 없어서다. 비상사태 시 얼굴과 눈을 바로 닦을 수 있는 샤워부스도 클린룸 안에 마련돼 있었다.

램리서치 코리아테크놀로지 센터 내 센스i. (사진=램리서치코리아)

램리서치의 차세대 식각 장비인 센스i의 웅장한 모습이 돋보였다. 장비에서 자동차 엔진의 역할을 하는 제너레이터와 가스배관이 일체형인 외형이 다른 장비와 가장 다른 특징이었다. 클린룸 투어를 맡은 이수민 램리서치코리아 엔지니어는 “기존 원형 모양의 외형에 가스배관이 이어져 공간 손실이 있었던 기존 장비와 다르게 센스i는 고밀도구조로 공간효율성을 70% 높였다”며 “(이 장비로) 향후 10년간 메모리반도체 공정 로드맵을 제공할 수 있게 됐다”고 설명했다. 또 시스템반도체 탑재 등 램리서치의 인텔리전스 기술을 적용해 스스로 웨이퍼 상태를 인식해 생산성을 개선시켰으며 장비 자율수리도 가능해졌다.

거대한 클린룸을 지나다니면서 눈에 띈 것은 장비를 보지 못하게 곳곳에 설치돼 있던 벽이다. 이와 관련 이상원 대표는 “월에 가려져 있는 장비는 고객사와의 계약에 따른 것”이라며 “제한된 공간에서 고객과 함께 개발 중인 장비이며 램리서치에서도 허가된 직원만 접근이 가능하다”고 했다.

램리서치코리아 동탄 테크니컬 트레이닝 센터. (사진=램리서치코리아)

램리서치코리아 동탄 테크니컬 트레이닝 센터 내 VR룸. (사진=램리서치코리아)

“美본사 안가도 VR로 장비 해체하고 한국어 설명 들어”

램리서치코리아는 지난 2018년 기술교육 현지화를 위해 동탄 소재 테크니컬 트레이닝 센터를 지었으며 점차 몸집을 키우고 있다. 미국 본사를 찾지 않고도 국내에서 장비 이해도를 높이고 유지보수를 위한 교육을 소화할 수 있게 된 것이다. 램리서치코리아 관계자는 “센터가 지어지기 전에는 신규 장비가 도입될 때마다 교육을 받기 위해 장거리 출장이 불가피했는데 이동시간과 비용, 의사소통 제약이 줄었다”며 “고객사가 테크니컬 트레이닝 센터를 찾아 고객사에 공급된 실제 장비를 운영해보고 공정 분야 교육도 받는다”고 설명했다. 영어가 아닌 한국어 설명을 들을 수 있다는 점도 장점이다.

실제 장비를 보지 않고도 가상현실(VR)랩에서 센스i 등 장비 조작을 해볼 수 있었다. VR기기를 통해 드라이버를 손에 쥐고 장비 부품을 제거해 내부를 들여다보고 관련 설명까지 접할 수 있다. 램리서치코리아 관계자는 “고객, 램리서치, 협력사 엔지니어의 기술 역량 향상을 위한 교육 프로그램을 진행하고 있다”며 “이뿐 아니라 인재 양성을 위한 대학생 장비 교육 프로그램도 운영 중”이라고 했다.