알에프세미, 1700V 실리콘카바이드 전력반도체 양산

[이데일리 강경래 기자] 알에프세미(096610)가 예스파워테크닉스와 함께 만든 1700V(볼트) 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체 양산에 착수했다고 4일 밝혔다.

알에프세미가 양산에 들어간 1700볼트 실리콘카바이드 전력반도체 웨이퍼 (제공=알에프세미)

1700V 전략반도체는 국내에서 처음 출시한 반도체로 SiC 웨이퍼 제조뿐 아니라 1700V 고압 측정, 이온 주입, 활성화 공정, 표면 처리 기술로 상용화에 어려움을 겪어 왔다. 알에프세미는 지난해부터 예스파워테크닉스에 650V·1200V 전력반도체 제품을 위탁생산한 뒤 공급해 왔다.

이번 1700V 전력반도체는 예스파워테크닉스에서 제품 설계와 일부 공정을 진행한 뒤 알에프세미에서 상용화한 것이다. 현재까지 1700V 전력반도체는 인피니온, 크리, 온세미 등 해외 업체들이 과점해 왔다.

전력반도체는 높은 전력이 필요한 제품으로 전기차, 수소차, 5G(5세대) 통신망 등에서 전류 방향을 조절하고 전력 변환을 제어하는 기능을 한다. 특히 SiC와 GaN(질화갈륨)을 이용한 전력반도체는 기존 Si(실리콘)을 이용한 제품보다 2배 이상 큰 전압에 견딜 수 있다.

이번 알에프세미 1700V 전력반도체는 안정성 확보를 원하는 전기자동차와 함께 짧은 충전 시간을 위해 고전압·고전류가 필요한 자동차 충전기에 쓰인다. 이진효 알에프세미 대표는 “전주 공장에서 20년 이상 6인치 웨이퍼 공장을 운영하는 과정에서 공정, 생산, 개발, 장비 기술 노하우를 확보할 수 있었다”며 “2년 이상 공정 개발을 통해 95% 이상 수율을 확보한 1700V 전력반도체 양산에 착수했다”고 말했다.