와이씨켐, 반도체 장비 출하 개시…국내 반도체 소재 기업 공급

[이데일리 이정현 기자] 와이씨켐(112290)은 신사업으로 추진하는 반도체 장비 첫 제품을 출하했다고 1일 밝혔다.

와이씨켐은 지난달 28일 국내를 대표하는 반도체 소재 기업에 관련 장비 출하를 기념하기 위해 반도체 세정 장비 출하식을 개최했다.

와이씨켐이 개발에 성공한 반도체 세정 장비는 싱글 스핀(spin)과 배치(batch) 처리 모두가 가능한 하이브리드 장비로 향후 장비 모듈화를 통한 고도화를 거쳐 양산용 장비로 개발된다. 관계자는 “이번 첫 장비 출하를 바탕으로 다양한 고객을 확보해 신사업 장비 사업부의 매출 비중을 높여갈 계획”이라고 밝혔다.

와이씨켐 장비 신사업부는 세정 장비 이외에도 고선택비 인산 농도 분석 장비를 개발중이다. 고선택비 인산 농도 분석 장비는 NAND 생산 때 식각 공정에서 사용되는 고선택비 인산계 식각액의 농도를 실시간으로 측정해 교체 시기를 알려주는 장비다.

관계자는 “세정 장비는 연내 매출이 발생되고 고선택비 인산 농도 측정장비는 연내 칩메이커 고객 평가를 받아 칩 메이커 양산에 적용될 수 있도록 최선을 다하고 있다”고 밝혔다.